TEM分析稳固GaN元件功能　掌握差排晶体缺陷(2)

对比前两大类半导体材料，第三类半导体氮化镓因制程原料关系，易产生大量的差排缺陷，而差排的密度和种类，又是影响元件功能的一大要素。如何解析差排类型，并将差排的密度控制在一定范围，是第三类半导体发展的重要关键。…